日本化学機械製造株式会社は、化学機器・化学装置・燃焼装置・超低温液化ガス機器の設計・製作・建設工事を行うプラントエンジニアリングメーカーです。このサイトは、当社と当社の優れた製品(蒸留設備、攪拌・反応槽、熱交換器 など)を紹介するものです。

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脱脂装置(前処理)装置 【表面清浄化装置】
概要
高精細電子部品製造におけるフォトエッチング工程では、被加工物の微量な表面残留異物でも後工程の製版・エッチングの阻害要因となり、最終的に製品欠陥となります。本装置は、表面残留異物が残らないように、浄化する装置です。使用される薬液特性に合わせ装置材料、SUS、樹脂等対応の脱脂・洗浄・乾燥装置を提供いたします。
1.工程、フロー図、写真
(1).工程、フロー図、写真
脱脂装置(前処理)装置
脱脂装置(前処理)装置
投入方法:ROLL TO ROLL
脱脂装置(前処理)装置 脱脂装置(前処理)装置
投入方法:シート
脱脂装置(前処理)装置 脱脂装置(前処理)装置
投入方法:ROLL TO ROLL
2.特長・用途
  • 脱脂液疲労の削減
  • 酸処理設置による良品率の向上
  • 各処理工程(特に酸処理、水洗)において、スプレー処理あるいは、浸漬処理の選択可能。
  • 節水対策可能
  • 液切:エアースキージー、スポンジロール、ゴムロールの選択可能。
  • 乾燥はクリーンパネルヒーター方式採用
  • 液の定量補充設備
  • 制御:温度コントロール、レベルコントロール、スプレーの圧力監視、脱脂液の濃度測定
基本条件
(1).処理基板材質
: 銅、鉄、SUS、INV他
(2).投入方法
: ROLL TO ROLL、シート
(3).搬送速度
: 1.0m/min〜10m/min可能
(4).搬送方式
: ローラー(段付ロールorストレートロール);駆動方法はギヤーorチェーン駆動
  メッシュ搬送
その他詳細な装置仕様に関しては、お打合せによります。
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