日本化学機械製造株式会社は、化学機器・化学装置・燃焼装置・超低温液化ガス機器の設計・製作・建設工事を行うプラントエンジニアリングメーカーです。このサイトは、当社と当社の優れた製品(蒸留設備、攪拌・反応槽、熱交換器 など)を紹介するものです。

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現像装置
概要
被加工物上の感光層に製品パターンが露光され、できた潜像を、水、アルカリ、その他の薬液で現像する装置を提供いたします。当社は長年の高精細電子部品製造装置製作の経験を生かし、お客様のニーズに対応した現像装置(必要とあればポストベイキング装置含め)を提供いたします。使用される薬液特性に合わせて装置材料、SUS、樹脂等対応も可能です。また、ニーズに合わせ、現像ノズル搖動等も対応いたします。
1.工程、フロー図、写真
(1).工程、フロー図、写真
現像装置
現像装置
投入方法:ROLL TO ROLL
現像/エッチング/剥離装置 一式タイプ現像/エッチング/剥離装置 一式タイプ
投入方法:シート
現像/エッチング/剥離装置 一式タイプ現像/エッチング/剥離装置 一式タイプ
投入方法:ROLL TO ROLL
2.特長・用途
  • 現像処理:揺動設備(オシレーションシステム)採用
  • 現像液の全量ろ過システム
  • 現像液の高精度温調設備
  • 水洗において、スプレー処理あるいは、浸漬処理の選択可能。
  • 節水対策可能
  • 乾燥はクリーンパネルヒーター方式採用
  • 制御:温度コントロール、レベルコントロール、スプレーの圧力監視、脱脂液の濃度測定
  • その他:竪型搬送設備可能、また軟水を硬水化にする設備可能
基本条件
(1).処理基板材質
: 銅、鉄、SUS、INV他
(2).投入方法
: ROLL TO ROLL、シート
(3).搬送速度
: 1.0m/min〜10m/min可能
(4).搬送方式
: ローラー(段付ロールorストレートロール);駆動方法はギヤーorチェーン駆動
その他詳細な装置仕様に関しては、お打合せによります。
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